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相關(guān)文章◆大幅度提高了驅(qū)動(dòng)速度（X軸：80mm/s Z2軸：20mm/s），近一步降低了總測(cè)量時(shí)間。
◆為了在一定時(shí)段內(nèi)維持儀器的直線度精度規(guī)格，三豐公司才用了具有的耐摩擦性及穩(wěn)定性的高硬度陶瓷導(dǎo)軌。
◆大量的外圍設(shè)備支持CNC模式，從而可以很容易實(shí)現(xiàn)CNC測(cè)量。
◆驅(qū)動(dòng)裝置（X軸）和立拄（Z2軸）中集成了高精度光柵尺（Z2軸為ABS型），從而提高了在垂直方向持續(xù)自動(dòng)測(cè)量小孔和不易定位工件的重復(fù)精度。
◆X軸精度：±（0.8+0.01L）μm Z1軸精度：±（0.8+|0.5H|/25）μm *（CV-4100S4、H4、W4），針對(duì)高精度工件的測(cè)量所設(shè)計(jì)。 L為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 H為測(cè)量高度
◆CV-4100系列的驅(qū)動(dòng)裝置集成了Laser Hologage檢位器，在Z軸（垂直方向）的窄/寬測(cè)量范圍內(nèi)，提供的精度和分辨率。
X軸 |
|
測(cè)量范圍 | 100mm |
分辨率 | 0.05um |
檢測(cè)方法 | 反射型線性編碼器 |
驅(qū)動(dòng)速度 | 80mm/s和手動(dòng) |
測(cè)量速度 | 0.02-5mm/s |
移動(dòng)方向 | 向前/向后 |
直線度 | 0.8um/100mm,2um/200mm *當(dāng)X軸在水平方向上 |
指示精度 (20°C時(shí)) | ± (1+0.01L)um *L為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度(mm) |
傾斜范圍 | ±45° |
| |
Z2軸（立柱） |
|
垂直行程 | 300mm |
分辨率 | 1um |
檢測(cè)方法 | ABSOLUTE線性編碼器 |
驅(qū)動(dòng)速度 | 0-20mm/s和手動(dòng) |
| |
Z1軸(檢測(cè)器) |
|
測(cè)量范圍 | ±25mm |
分辨率 | 0.2um |
檢測(cè)方法 | 線性編碼器 |
指示精度 (20°C時(shí)) | ± (2+|4H|/100)um *H為水平位置上的測(cè)量高度(mm) |
測(cè)針上/下運(yùn)作 | 弧形運(yùn)動(dòng) |
測(cè)針?lè)较?/span> | 向上/向下 |
測(cè)力 | 30mN |
跟蹤角度 | 向上：77°、向下：87°(根據(jù)表面粗糙度，使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測(cè)針) |
測(cè)針針尖 | 半徑：25um、硬質(zhì)合金針尖 |
電源 | 100-240VAC±10%,50/60Hz |
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